基于差分图像定位法的集成电路光发射探测技术

摘要：

在偏置电压较低的情况下，光发射信号较弱，容易被器件的噪声所干扰，造成成像效果不佳。为此，文中建立了光发射显微（PEM）图像的信号－噪声模型，设计了差分图像定位算法来提高光发射探测的精度。该算法首先通过调整偏置电压获取失效信号强度不同的两组图像，计算出两组图像的差分均值图像，再对其进行均值滤波器、图像二值化等处理，得到统计图像，最后根据统计图像确定集成电路失效点的位置。物理分析结果验证了基于差分图像定位法的集成电路光发射探测技术的准确性。

关键词：集成电路、差分图像法、信号-噪声模型、光发射、缺陷定位

分类号：TN322.8(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60776020；电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室基金资助项目9140A23090112DZ15284

在线出版日期：2014-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：70-75