具有图形化Al背面反射镜的GaN基LED芯片

摘要：

图形化反射镜能提高LED芯片的光提取效率.在蓝宝石衬底背面制备三角周期排列的微米尺寸SiO2圆台形结构,再沉积金属Al,构成图形化反射镜.基于Monte Carlo光线追迹方法的三维光学仿真表明,相比平面反射镜,图形化Al反射镜可使芯片光提取效率提升7.5％.实验测试结果表明,输入电流为20 mA时,相比平面反射镜,图形化Al反射镜可提升芯片输出光功率8.4％,而芯片的电学性能无恶化.基于有限元方法的二维热力学仿真讨论表明,图形化反射镜有利于芯片获得更低的温度和热应力,且微结构附近的应力集中对芯片性能的影响可忽略.

关键词：图形化反射镜、LED芯片、出光效率、热应力

所属期刊栏目：42

分类号：TN312+.8(半导体技术)

资助基金：国家“863”计划项目2014AA032609;广东省战略性新兴产业发展专项资金资助项目2010A081002009,2011A081301004,2012A080302003;华南理工大学中央高校基本科研业务费专项资金资助项目2013ZM093,2013ZP0017

在线出版日期：2015-01-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：14-20