BaTiO3介电薄膜的微弧氧化制备及表面形貌

摘要：

通过正交试验优化了微弧氧化制备表面形貌较好、粗糙度较小的BaTiO3薄膜的工艺参数,对最优工艺参数下制备的薄膜进行了表征,并研究了溶液浓度、电流频率、电流密度和反应时间对薄膜表面形貌和表面粗糙度的影响.结果表明:在最优工艺条件下(Ba(OH)2溶液浓度0.5mol/L、电流频率100 Hz、电流密度2.0A/cm2、反应时间5 min),所得薄膜主要由四方相BaTiO3组成,其在1 kHz下的介电常数为113.0;随着溶液溶度和电流频率(150 Hz以下)的增加、电流密度的减小、反应时间的缩短,薄膜表面变得平整,粗糙度变小.

关键词：微弧氧化、钛酸钡薄膜、介电性能、表面形貌、表面粗糙度

所属期刊栏目：39

分类号：TM22+3(电工材料)

资助基金：中国博士后科学基金资助项目200902317

在线出版日期：2012-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：109-113,119