叠层模板电沉积中沉积均匀性的实验研究

摘要：

为了改善叠层模板电沉积技术(LTE)中沉积层的均匀性,以减少辅助工序的工作量,采用直流电流、正脉冲电流和换向脉冲电流3组电流配置进行对比实验,对电流参数包括换向脉冲的脉宽、频率,工作时间、关断时间以及电流密度作了调整和优化.通过对宏观厚度和微观形貌的测量,发现:换向电流配置条件下,模板沉积层具有较好的均匀性, 换向脉冲电流的应用可以有效减少LTE工艺的加工难度和加工时间.文中还就换向电流对沉积层整平修饰的作用机理进行了理论分析,并采用优化的换向电流参数制备出了一批截面为20mm×20mm、厚度为4mm的铜质金属实体,证明了该技术的可行性.

关键词：叠层模板、电沉积、换向脉冲电流、均匀性

所属期刊栏目：37

分类号：TQ153.4

资助基金：国家自然科学基金资助项目50575104;南京航空航天大学科研创新基金资助项目Y0605-052

在线出版日期：2009-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：117-122