电化学C-V测量AlGaInP LED 外延片中载流子浓度的分布

摘要：

在实验的基础上,总结了电化学C-V的一些测试经验,提出了一种适用于测量AlGaInP LED 外延片中载流子浓度纵向分布的电解液--0.5 mol HCl 溶液.综合利用平带电位值(F.B.P)、耗散因子和测量电流等3个测量判据,合理选取测量电压、腐蚀电流等测量参数, 获得了速度快、重复性好和数据准确可靠的测试效果.

关键词：AlGaInP LED 外延片、电解液、电化学电容-电压测量法、平带电位值、耗散因子

所属期刊栏目：31

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：广东省科技攻关项目2002B11604

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：85-87,95