21世纪深亚微米芯片技术的新进展

摘要：

着重介绍对微电子技术发展有重大意义的集成电路关键技术的进展情况.MOSFET结构的探索创新、高K和低K绝缘材料的开发运用、铜布线芯片技术、极紫外线曝光技术以及SoC设计技术等里程碑式的进展,使集成电路朝着规模越来越大、图形线条越来越细、功耗越来越低、工作速度越来越快的方向不断发展,为21世纪IT产业的发展奠定坚实基础.

关键词：微电子技术、集成电路、光刻、系统级芯片、IP

所属期刊栏目：30

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：81-84