以SiO2/Si为衬底的Ba1-xLaxNbyTi1-yO3薄膜的敏感特性

摘要：

通过离子束溅射技术淀积在SiO2/Si衬底上的钛酸镧钡铌膜(Ba1-xLaxNbyTi1-yO3),制成集薄膜电阻和金属-绝缘体-半导体(MIS)电容为一体的传感器.实验结果表明,薄膜电阻在303～673 K温度范围内对可见光和热具有良好的灵敏特性,同时MIS电容对相对湿度有很高的灵敏度.我们测试了此薄膜的光吸收特性,并得到了它的禁带宽度.最后,我们研究了薄膜电阻的阻抗温度频率特性和频率对MIS电容湿敏特性的影响.

关键词：钙肽矿氧化物、钛酸镧钡铌薄膜、光敏特性、热敏特性、湿敏特性

所属期刊栏目：30

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：广东省科技攻关项目9566012

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：13-17