铪、钛掺杂钛基底纳米金刚石的场发射特性研究

摘要：

采用电泳法分别制备了铪和钛掺杂纳米金刚石的场发射阴极涂层,利用扫描电子显微镜和场发射测试仪分别对样品的微观形貌和场发射特性进行了表征.研究发现,随着金属铪粉和钛粉的掺杂,阴极涂层的均匀性逐渐变差并出现了团聚现象.场发射研究表明铪的掺入反而降低了涂层的场发射性能,钛掺杂后提高了场发射的电流密度,随着钛的逐渐增多,样品的发光亮度逐渐增强,均匀性变差,进一步表明了适量的钛掺杂纳米金刚石有利于提高场发射性能.最后,探讨了钛掺杂纳米金刚石涂层的场发射机理.

关键词：纳米金刚石、电泳法、掺杂、发光效果、场发射特性

所属期刊栏目：36

分类号：TN383+.1(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金61664008;2017年国家级大学生创新训练项目G201710719008;陕西省高水平大学学科建设专项研究基金2015SXTS02;2017年延安大学研究生创新训练项目YCX201740

在线出版日期：2018-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1196-1199