电感耦合等离子体质谱法测定高纯气体中痕量铝、磷、硼

摘要：

研究了用电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)测定高纯气体五氟乙烷中铝、磷、硼等杂质的分析方法.在最佳仪器条件下,通过选择合适的吸收液与测定同位素、采用Sc作为内标以及碰撞池技术,避免了基体效应以及多原子离子对测定的干扰.方法简单、灵敏度高,对高纯气体的质量监控有指导意义.

关键词：ICP-MS、KED、高纯气体、硼、磷、铝

所属期刊栏目：31

分类号：O657.63(分析化学)

资助基金：国家自然科学基金委青年科学基金21005034

在线出版日期：2014-02-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：1613-1614