10.3969/j.issn.1004-3918.2013.08.020
高密度光栅膜片制备工艺的试验研究
高密度光栅作为色散元件,广泛用于光谱分析、云纹干涉法位移测量等,但传统光栅制备工艺复杂且成本高昂。为了方便结构分析应用,研究了粘贴式高密度光栅膜片的直接压印制备工艺及其流程。先用传统工艺制备的金属质光栅通过电镀制备金刚石-镍光栅母板模片,再用母板模片在普通PET镀铝反光膜上直接高温压印即可制备可粘贴式高密度光栅膜。试验结果表明,选用适当厚度的PET反光膜,控制适当温度和压力,可制备出衍射效果良好的粘贴式高密度光栅膜片,且制备工艺相对简单。
高密度光栅、金刚石-镍、电镀、PET镀铝膜
TN305.7;O436.1(半导体技术)
国家级大学生创新实验资助项目121045916
2013-10-10(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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