蓝宝石衬底基片平整加工专利分析

摘要：

蓝宝石是国际上公认的LED衬底材料,但其硬度高且脆性大机械加工困难,蓝宝石晶体切割后需要经过平整加工达到规定的平面度、粗糙度、晶格完整性等指标后方可使用.基于蓝宝石衬底片平整加工专利,本文从申请量、申请区域以及技术发展路线三方面展开分析.

关键词：蓝宝石、衬底、基片、平整、研磨、抛光、技术路线

分类号：G306;0786(科学研究理论)

在线出版日期：2020-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：120-123