微型热式流量传感器专利技术综述

摘要：

流量测量广泛应用于各个领域,其中基于微型化、无干扰、集成化的流量测量需求以及技术的进步,微型热式流量传感器开始了长足发展.本文利用专利数据库,分析了微型热式流量传感器的专利申请态势,包括全球申请量年度分布、各国专利布局、技术原创、主要技术分支、重要专利和技术发展路线等,从专利的视角分析了该领域的技术发展历程和发展趋势,有助于微型热式流量传感器领域的技术应用和技术改进.

关键词：流量、MEMS、微型、热式

分类号：TP2121(自动化技术及设备)

在线出版日期：2020-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：112-115