多晶硅铸锭原料中重掺料的影响

摘要：

多晶硅铸锭中需要用到原生多晶硅、碎片、边皮等一系列的多种硅料,而这些硅料中如果存在重掺料,会降低硅锭预期电阻率,影响硅锭品质.如果将重掺料检测出并去除,便能够将多晶硅锭电阻率按生产要求控制在1～3Ω·cm,并使多晶硅锭电阻率符合预定规律.

关键词：多晶硅铸锭、重掺、电阻率

分类号：TM914.4

在线出版日期：2017-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：143-144