10.3969/j.issn.1003-5168.2013.18.046
晶体硅生长设备外围设施的研究
针对国内晶体硅生长设备现状,简要认识了多晶硅铸锭炉的技术发展瓶颈,从外围电力系统、氩气供应做了简单介绍,重点介绍了冷却水路系统的计算、研究.
多晶硅铸锭炉、氩气、冷却系统、自然对流、强制对流
TM914
2013-11-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共2页
59,61
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10.3969/j.issn.1003-5168.2013.18.046
多晶硅铸锭炉、氩气、冷却系统、自然对流、强制对流
TM914
2013-11-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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