200吨/年多晶硅装置工程设计

摘要：

@@ 山东鼎昌硅业科技有限公司根据市场需要新建一套200吨/年太阳能级多晶硅生产装置.该装置采用改良西门子工艺,主要包括三氯氧硅提纯部分、干法回收部分、多晶硅还原与后处理部分以及配套的纯水、氮气、导热油等辅助系统.装置于2009年12月建成,20lO年7月投产,产品一次分析合格,经考核,装置满足设计要求.

机标关键词：多晶硅、生产装置、科技有限公司、市场需要、设计要求、干法回收、辅助系统、西门子、后处理、导热油、投产、提纯、太阳、山东、配套、能级、考核、还原、工艺、改良

分类号：X75;X70

在线出版日期：2011-03-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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