前驱体溶液浓度对LaNiO3薄膜结构及导电性能的影响

摘要：

采用溶胶-凝胶(sol-gel)法,使用浓度分别为0.1M、0.2M和0.3M的前驱体溶液,在单晶Si(100)衬底上制备了LaNiO3(LNO)导电薄膜,研究了前驱体溶液浓度对LNO薄膜结构和导电性能的影响.X射线衍射测试表明,三种样品均为纯的钙钛矿相,具有较好的(110)择优取向.扫描电子显微镜截面分析显示,用0.2M前驱体溶液制备的LNO薄膜样品厚度均匀,与Si衬底间没有明显扩散.采用标准四探针法测试了三种样品的电阻率,当前驱体溶液浓度为0.2M时,样品电阻率最小,仅为2.08×10-3 Ω·cm,具有良好的导电性.

关键词：溶胶-凝胶法、前驱体溶液、浓度、LaNiO3、电阻率

所属期刊栏目：36

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：河南省高等学校创新人才培养工程项目

在线出版日期：2006-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-28