MEMS火工品换能元的研究进展

摘要：

换能元作为微机电系统(Micro Electro-Mechanical Systems,MEMS)火工品的核心部件,是MEMS火工品安全性和可靠性的重要影响因素,对整个武器系统的影响也是不可忽视的.文中从换能元的基底和电阻材料研究、结构设计等角度, 综述了近年来MEMS火工品换能元的最新发展研究.介绍了MEMS火工品换能元的两大关键技术: MEMS火工品换能元的设计制备方法以及换能元性能参数的测试表征.指出:具有微型化、集成化、多功能化和高可靠性的MEMS火工品换能元是未来研究的热点.为MEMS火工品换能元的设计研究提供理论支撑, 应加强微尺度下的热散失特性以及桥区电阻特性研究.认为复合含能薄膜桥换能元是MEMS火工品换能元的一个重要发展方向.

关键词：微机电系统(MEMS)火工品、换能元、薄膜桥、桥区结构

所属期刊栏目：25

分类号：TJ55(爆破器材、烟火器材、火炸药)

资助基金：国防科技重点实验室基金9140C370504150C37175

在线出版日期：2017-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：428-436