灵敏度和偏移补偿的MEMS压阻式加速度传感器

摘要：

针对传感器中存在的灵敏度和偏移补偿问题,提出了一种新的MEMS压阻式加速度传感器设计,它由一个传感器和一个总的接口电路构成,可用0.18 μm商用CMOS工艺实现设计.传感器结构由8个硼扩散结晶体压敏电阻连接起来构成一个惠斯通电桥来感知加速度;接口电路由一个主放大器和传感器灵敏度及温度偏移补偿电路构成;实验结果表明,传感器具有很高的在轴加速度灵敏度和灵敏度补偿效果,整个系统具有可达5 kHz的可扩展的系统带宽,而且偏移估计误差减少到了±10μV以内.

关键词：MEMS、压阻式加速度传感器、补偿、灵敏度、动态范围、偏移估计误差

所属期刊栏目：44

分类号：P229.1(大地测量学)

资助基金：北京市自然科学基金资助项目1182615

在线出版日期：2019-12-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：72-77