金膜表面光栅制备中飞秒激光参数的影响

摘要：

为了研究飞秒激光参数对制备金膜表面光栅的影响, 设计搭建了飞秒激光干涉微加工实验装置, 经衍射光栅得到的两束相干光在金膜表面诱导出微光栅.借助原子力显微镜研究在不同的脉冲能量密度、脉冲个数、波长等条件下制备的光栅形貌, 测得光栅的周期和线宽.研究发现, 飞秒激光参数对光栅形貌的影响显著, 制备光栅的最佳波长为800 nm, 脉冲能量密度为0. 794 5～1. 335 6 J·cm-2 , 得到的光栅最小周期为6. 54 μm.理论分析了激光参数与所制备的光栅的特征参数之间的数量关系, 讨论了这种关系形成的内在物理机制.

关键词：微纳光栅、飞秒激光、双光束干涉法

所属期刊栏目：12

分类号：TN249(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家自然科学基金;黑龙江省自然科学基金

在线出版日期：2021-06-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：46-52