大过载真空传感器失效分析

摘要：

某型号电容式真空传感器在实际使用过程中发生失效,表现为在不同介质压力下输出几乎稳定不变.通过解剖失效传感器,排除电路故障造成的产品失效.建立传感器薄弱环节的有限元模型,分析产品满量程时的状态,并应用变分法,采用Matlab软件进行理论验证,验证有限元模型建立的正确性.采用该模型对产品进行满量程、二倍过载、四倍过载及千倍过载情况下的状态分析.产品动电极在千倍过载工况下发生塑性变形,在介质压力消失后,不能恢复初始状态,造成传感器产品发生失效.采用电镜对失效电容式真空传感器的动电极断截面进行观察,存在明显的"缩颈"现象,验证了有限元失效分析的正确性.

关键词：真空传感器、失效分析、电容式、有限元及变分法、Matlab

所属期刊栏目：11

分类号：TP212.13(自动化技术及设备)

资助基金：国防科工局技术基础项目JSZL2016210C005

在线出版日期：2020-11-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5-9