一种基于通孔技术的新型石英音叉振子

摘要：

石英具有很高的品质因数,因此用石英加工的频率元件也具有极高的稳定性,能大大提高系统的时间精度.32.768 KHz的表晶利用其压电效应产生精准可靠的时间基准,随着石英频率元件领域对半导体光刻技术的引入,适用于表贴型小型化表晶的音叉振子的研究正不断深入.介绍了音叉的基本工作原理及阻抗改进的凹槽技术,提出一种以通孔导通正反面槽电极的新型石英音叉振子方案,极大的缩短供电线路,减少电流流通过程中的电能损耗,提升音叉振子的低功耗性能,同时提高音叉结构的对称,在一定程度上提升表晶的性能稳定性.

关键词：石英、音叉振子、通孔、电极、低功耗

分类号：TN752(基本电子电路)

在线出版日期：2023-03-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：54-57