半导体冷阱模块内部除水方法研究

摘要：

文章以半导体制冷器构成的腔体为基础,主要研究了腔体内通入干燥空气、干燥零气和干燥氦气对腔体内水汽的影响,并通过对通入气体不同时长和频率的控制,观察水汽凝结变化趋势,寻找更好的冷阱腔体除水方案.结果表明腔体的密封性对腔体内水汽含量有较大影响.通入的干燥零气与干燥氦气对水汽减少有一定作用.通入干燥空气时因为干燥空气本身的水分难以除尽,实验结果证明这样反而会增加腔体中的水汽.

关键词：冷阱、VOCs、空气、零气、氦气

分类号：X851(环境监测仪器设备)

在线出版日期：2022-04-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：26-29