Microstructure and Optical Characterization of Magnetron Sputtered NbN Thin Films

机标关键词：Thin Films、substrate temperatures、reactive magnetron sputtering、scanning electron microscopy、extinction coefficient、sputtering conditions、optical transmittance、optical properties of、surface morphology、partial pressures、refractive index、lattice constant、phase structure、particle size、thin films、grain size

所属期刊栏目：20

分类号：V2(航空)

资助基金：国家自然科学基金50471004;Foundation of Engineering Institute of Beijing University204031;New Century Excellent Talents in UniversityNCET of China

在线出版日期：2007-06-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：140-144