材料表面薄膜硬度的测试计算

摘要：

给出了基于纳米硬度试验的表层薄膜的硬度测算方法.首先研究如何利用有限元计算弥补纳米硬度测量在压痕深度小于百纳米时的精度缺陷,进而探讨薄膜-基体材料系统的硬度随压痕深度变化的规律,最后导出了根据实验曲线预测表层薄膜材料的硬度的公式,并进行了实验验证.

关键词：薄膜材料、硬度、纳米压痕、有限元模拟

所属期刊栏目：16

分类号：V252;TG113.25+1(航空用材料)

资助基金：中国科学院项目（非规范项目）;国家自然科学基金;科技部项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：52-58