基于PSZT的RAINBOW型驱动器研究

摘要：

基于反铁电陶瓷(PSZT)化学还原制备的RAINBOW驱动器是一种具有内部应力偏移，兼有还原层和氧化层，驱动位移较大的新型驱动器。实验发现反铁电陶瓷较易还原，理想还原条件为：870℃保温2～3h；与普通反铁电驱动器相比，RAINBOW驱动器能在强度较低的电场作用下发生铁电相变，得到很大的轴向位移(约190μm)；加载方式对RAINBOW的驱动性能具有决性的影响。

关键词：驱动器、RAINBOW、化学还原、反铁电陶瓷、相变

所属期刊栏目：15

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;航空科学基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：176-180