二维并联跨尺度压电精密位移驱动平台研制

摘要：

多自由度跨尺度精密位移驱动平台在光学计量检测、半导体制造、生物医学工程等诸多领域具有广泛的应用需求.针对串联多自由度压电驱动平台结构厚重的问题,结合压电柔性铰链机构和冲击驱动原理,研制了一款结构紧凑的二维并联跨尺度压电精密位移驱动平台.通过有限元仿真和实验测试验证其性能,结果表明:压电柔性铰链定子的静态位移为7.95μm,固有频率为11.80 kHz.低频步进位移和高频平滑运动测试表明:原理样机的步进位移分辨力为100 nm,平滑运动速度为4.96 mm/s,负载力达到100 mN以上.原理样机基本满足多自由度跨尺度精密位移驱动的技术要求,在微纳光学检测等系统中具有良好的应用价值.

关键词：压电平台、并联机构、冲击驱动、柔性铰链、步进位移、平滑运动

所属期刊栏目：43

分类号：TB9(计量学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;中央高校基本科研业务费项目

在线出版日期：2023-04-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：154-160