基于色散共焦原理的内径测量技术研究

摘要：

为了满足小口径深孔类零件的高精度非接触测量需求,研制了一套适用于较大测量范围的高分辨力光学测量系统.利用色散共焦测量原理,建立了微位移量系统,结合光谱分析技术,形成了高分辨力光学测量系统.首先,基于色散共焦原理,设计了色散物镜结构;其次设计爬行结构,利用电机带动反射镜旋转,完成深管不同截面的径向几何尺寸测量;再次,通过最小二乘法以及误差分析与补偿,对系统误差进行分析;最后通过搭建实验平台验证.结果表明:该测量系统可实现小测量范围达到5 mm,测量误差优于3.3μm,具有测量精度高、测量范围较大、结构紧凑等优点,对解决小尺寸深孔类零件内径测量难题具有重要实用意义.

关键词：内径测量、非接触测量、色散共聚焦、测量系统

所属期刊栏目：43

分类号：TB9(计量学)

资助基金：吉林省科技发展计划项目20220201097GX

在线出版日期：2023-04-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：128-136