叠焦三维显微视觉测量聚焦评价算法研究

摘要：

为了精确、快速提取叠焦三维显微视觉测量的叠焦图像序列像素点聚焦位置,提出了基于最大梯度的聚焦评价算法.设计了2个带通掩膜算子和4个高通掩膜算子,在带通信号和高通信号中提取每个像素点对于相邻像素点强度变化的最大值来表示该点的聚焦程度,以提高聚焦评价函数提取梯度信息的能力.采用自适应梯度阈值分割算法提高了聚焦评价的灵敏度,降低了聚焦评价曲线的波动及次峰的影响.开展实验对算法的实际性能进行验证,结果表明:相较经典的空间域聚焦评价算法,基于最大梯度的聚焦评价算法的鲁棒性、灵敏度、无偏性和单峰性均显著提高,且具有很好的实用性,能够有效满足复杂轮廓微纳米级三维显微测量聚焦评价要求.

关键词：叠焦、显微成像、聚焦评价、最大梯度、视觉测量

所属期刊栏目：43

分类号：TB9;TP74(计量学)

资助基金：国家自然科学基金;国家重点研发计划

在线出版日期：2023-04-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：102-111