激光干涉仪在纳米测量中的典型应用

摘要：

激光干涉仪具有测量分辨力高、测量结果可溯源等优点,在纳米测量中的应用日益广泛.介绍纳米测量机和低膨胀材料线膨胀系数测量装置中应用的迈克尔逊型激光干涉仪以及在高准确度位移测量装置中应用的法布里-珀罗型激光干涉仪,并结合这些实例对激光干涉仪光学系统设计、测量环境控制、迈克尔逊干涉仪非线性误差补偿以及法布里-珀罗干涉仪量程扩展等方面的关键问题进行分析和总结.所述原则和方法对实现纳米级测量准确度具有重要意义,可为高准确度激光干涉仪的研制及其在纳米测量中的更广泛应用提供技术参考.

关键词：纳米测量、激光干涉仪、位移测量、纳米测量机、线膨胀系数

所属期刊栏目：43

分类号：TB9(计量学)

资助基金：国家十三五技术基础科研项目JSJL2016205C003

在线出版日期：2023-04-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共11页

页码：91-101