大量程高性能光栅位移测量技术

摘要：

高精度光栅位移测量系统具有纳米级重复精度、环境适应性强、维度易于扩展等优点,可以满足精密制造行业对米级测量量程、亚微米级精度与多维测量能力融合的测量技术要求,在高端制造、精密仪器等领域有重要应用.通过对测量光栅的各项参数进行研究,提升了测量光栅的尺寸与制作精度;提出高精度锥面衍射光栅位移测量、高倍细分转向干涉光栅位移测量、"品"字形拼接大量程光栅位移测量等技术,实现了数百毫米测量量程亚微米级测量精度.从光栅制作到测量系统研制对提升精度、分辨力及量程提供了理论分析与技术验证.

关键词：光栅位移测量、锥面衍射、转向干涉、大量程拼接

所属期刊栏目：43

分类号：TB96(计量学)

资助基金：中国科学院战略性先导科技专项;国家自然科学基金

在线出版日期：2023-04-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：81-90