多层微纳薄膜的高精度检测技术进展

摘要：

在半导体、机械加工等行业中广泛应用的多层微纳薄膜通常是由数个纳米厚度的单层膜叠加形成的,在其制造过程中,由于工艺条件所限,薄膜厚度的均匀性会出现误差,进而影响其性能.因此薄膜厚度的准确测量至关重要,亟需一种无损、高精度、快速的检测技术对薄膜的厚度及其均匀性进行测量、检测.回顾近年来多层膜在不同领域的应用现状,分析了目前应用于多层膜厚度测量的技术(如X射线衍射等)及其不足,以及椭圆偏振法技术的研究进展,最后介绍了机器学习在厚度测量中的应用,并对未来机器学习与测量结合的前景进行了展望.

关键词：多层薄膜、薄膜测量、椭偏仪、机器学习

所属期刊栏目：43

分类号：TB96(计量学)

资助基金：广东省重点领域研发计划项目2018B090944001

在线出版日期：2023-04-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：58-69