共焦三维超精密测量技术研究进展

摘要：

三维超精密测量技术对提升高端装备制造质量具有基础支撑作用.随着先进制造技术的不断进步,减小系统测量误差和扩大测量范围已成为三维超精密测量技术发展的关键.近年来,共焦三维测量技术发展迅猛,其应用领域也从生物医学逐步扩展到加工制造领域.本文系统介绍了共焦三维测量技术的研究现状和应用进展,从技术原理角度阐述了提高共焦三维测量分辨力以及扩大共焦三维测量范围的方法,对比总结了干涉共焦测量、差动共焦三维测量、光谱共焦测量等技术的相关研究成果,详细介绍了共焦三维测量技术在表面轮廓测量、微结构特征尺寸测量和关键部件内间隙测量等领域的应用情况,并在此基础上,对共焦三维测量技术的未来发展方向进行了展望,以期为后续研究提供技术参考.

关键词：精密仪器、轮廓测量、共焦显微、三维测量、超分辨

所属期刊栏目：43

分类号：TB9(计量学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;国家自然科学基金

在线出版日期：2023-04-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：48-57