表面微/纳米计量中的光学测量方法综述

摘要：

微纳检测技术旨在以微/纳米级的精度测量加工表面特征,在加工过程的控制、建立表面特征与功能间的联系等方面具有重要作用.光学测量方法具有高精度、快速和无损的特点,是微纳检测技术研发的重要内容.本文介绍了表面形貌和薄膜的光学测量方法,并对各方法的特点及应用场合进行了对比总结.微纳制造技术加工的表面具有结构日益小型化、特征日益复杂化的特点,因此开发多模式测量系统是微纳检测技术的发展趋势.

关键词：光学测量方法、表面形貌、薄膜、多模式测量系统

所属期刊栏目：43

分类号：TB96(计量学)

资助基金：国家重点研发计划2017YFF0107001

在线出版日期：2023-04-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共18页

页码：30-47