线性运动平台多自由度几何运动误差测量技术

摘要：

线性运动平台是精密制造和测量的基础,其定位精度直接影响着制造和测量的精度.由于制造和装配误差的影响,运动平台存在六个自由度的运动误差,将影响运动平台的定位精度.为了提高运动平台的定位精度,需要准确地测量各项运动误差.传统的测量方法只能对单一误差进行测量,并且测量仪器体积较大,无法集成在运动平台中进行实时误差测量.本文提出了一系列成本低、体积小、易集成的高精度多自由度几何运动误差同时测量技术,可以根据测量需求选择测量系统的自由度,在提高测量精度的同时,实现在线测量,为提高线性运动平台运动精度起到重要作用.

关键词：线性运动平台;多自由度运动误差;激光测量;半导体激光器

所属期刊栏目：41

分类号：TB92(计量学)

资助基金：国家自然科学基金项目;国家重点研发计划项目;辽宁省中央引导地方科技发展专项

在线出版日期：2021-12-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共10页

页码：42-51