激光干涉仪在气体微小流量测量中的应用

摘要：

为了提升气体微小流量的校准能力,拓展流量校准范围下限,以被动活塞式玻璃体积管主标准器作为研究对象,提出一种使用激光干涉仪实时测量活塞移动位移从而计算得出标准流量的方法,将流量范围下限从1 mL/min扩展至0.01 mL/min.开展了流量重复性试验及标准流量不确定度分析,试验结果表明该标准器在扩展的微小流量范围内具有良好计量性能,满足溯源校准要求,实现了微升级微小气体流量校准的技术突破.

关键词：激光干涉仪、气体、微小流量、重复性

所属期刊栏目：41

分类号：TB937(计量学)

资助基金：技术基础科研项目J052006A104

在线出版日期：2021-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：55-58