基于CO2激光焊接的高温光纤压力传感器的研制

摘要：

为了满足高温环境下的压力测量需求,研制了一种基于CO2激光焊接的高温F-P光纤压力传感器.介绍了MEMS压力敏感结构的制作过程,分析了传感器各组件之间的焊接工艺,实现了高温F-P光纤压力传感器的无胶化封装.在此基础上,对传感器的温度特性和高温压力性能进行了研究.结果表明,采用CO2激光焊接封装的传感器可靠性高,在高温下信号传输正常,未出现光谱能量衰减现象.温度达300℃时,传感器在0～2.5 MPa范围内的测量误差小于0.2％FS,能够实现高温压力的准确测量.但温度对传感器的影响不可忽略,在实际应用过程中需对传感器进行温度补偿.

关键词：光纤压力传感器、高温、激光焊接

所属期刊栏目：41

分类号：TB935(计量学)

资助基金：工信部民用飞机专项科研项目MJ-2015-J-99

在线出版日期：2021-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-33