微压力标准装置研制

摘要：

详细介绍了一种液体压力计微压标准装置的研制,采用超声波液位定位技术实现液位准确定位,并采用激光干涉技术实现了液柱高度准确测量,同时对温度控制、位移控制、数据采集处理等分系统设计进行介绍,最后对微压标准装置进行了测量不确定度分析和验证,该标准装置填补国防系统5 kPa以下微压量值传递空白,解决国防系统高准确度微压仪器仪表的溯源问题.

关键词：微压力、校准、压力标准装置、液体压力计

所属期刊栏目：41

分类号：TB935(计量学)

资助基金：技术基础科研项目JSJL2015205A009

在线出版日期：2021-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：178-182