确定纳米压入面积函数的改进方法

摘要：

针对薄膜等微小结构材料力学性能测试面积函数测量问题,提出了一种改善微小压入深度下压头面积函数准确性的方法.该方法将压头与被测样品之间的投影接触面积与压头针尖曲率半径和角度相关联,解决常用的面积函数确定方法在50 nm以下浅压痕测量中不可靠的问题.经实验验证,该面积函数确定方法可以提高微小接触深度下压入硬度和折合模量的测量准确度.

关键词：面积函数、纳米压入、压头形状、压入硬度、测量

所属期刊栏目：41

分类号：TB9(计量学)

资助基金：技术基础科研项目JSJL2019205C001

在线出版日期：2021-06-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：87-90