激光对中仪校准装置及校准方法的研究

摘要：

目前激光对中仪校准主要采用的方法为垫量块法,但是该方法存在操作复杂、工作效率低、可靠性低等缺点.本文提出了一种集光束对准与二维定位误差校准于一体的激光对中仪快速校准方法,并研制了相应的校准装置.该装置采用激光头固定器安装对中仪的被测单元,利用光栅式二维移动平台改变被测单元位置,通过三维回零偏置转台安装和调整对中仪的基准单元,利用自研的光栅数显表实时观测和显示X,Y轴位置及状态信息.该装置测量范围为40 mm ×40 mm,测量扩展不确定度为3.2 μm,具有准确性高、操作方便快捷、可靠性好等优点,具有实际应用价值和技术借鉴意义.

关键词：激光对中仪、快速校准、二维定位、光束对准

所属期刊栏目：40

分类号：TB9(计量学)

资助基金：国家"十三五"技术基础科研项目JSJL2019205A001

在线出版日期：2021-03-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：31-35