基于离心机的低气压精密控制研究

摘要：

针对惯性器件全量程气压灵敏度校准难题,发明了一种可抗高离心加速度的气压箱结构,并研制了离心-气压复合校准装置,实现了大g值条件下惯性器件气压特性的校准.本装置设计了两种工作模式:离心机静止时,利用真空泵、高精度压力传感器等气压精密测控系统实现离心-气压复合校准装置的精密控压;离心机工作时,通过密封技术等实现离心-气压复合校准装置保压.本装置通过对安装在离心机上的试验箱内气压进行精密控制,将高线加速度与气压环境有机结合在一起,为加速度计提供可靠的加速度、气压复合计量校准环境.实验结果验证了所设计的气压箱结构可以实现气压范围1～100 kPa,气压偏差优于10 Pa的精密控制.

关键词：气压箱、离心-气压复合校准、真空泵、密封技术

所属期刊栏目：40

分类号：TB93;V211(计量学)

在线出版日期：2020-06-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：59-63