温度对石墨烯膜光纤F-P声压传感器灵敏度影响研究

摘要：

石墨烯具有优异的机械、电学与光学等传感特性,有希望成为下一代可穿戴电子设备的功能敏感材料.石墨烯膜Fabry-Perot (F-P)声压传感器具有高灵敏度、小型化和抗电磁干扰等优点,但会受到温度漂移的影响.温度对传感器的影响主要体现在F-P腔长变化,引起工作点漂移,导致传感器光学灵敏度发生变化,以及改变石墨烯膜预应力.本文制备了石墨烯膜光纤F-P声压传感器探头,通过声压测试表明,温度改变了悬浮石墨烯膜的机械力学特性,在1 kHz处使其机械灵敏度由1.80 nm/Pa提高至2.44 nm/Pa.

关键词：石墨烯、F-P声压传感器、温度影响、灵敏度

所属期刊栏目：40

分类号：TB9(计量学)

资助基金：国家自然科学基金项目61573033;深圳市科技计划项目JCYJ20180504165721952;教育部创新团队资助项目IRT2013

在线出版日期：2020-04-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：32-36