一种用于线膨胀系数测量的高稳定性激光干涉系统

摘要：

介绍了一种可以对材料长度变化进行测量的高稳定性双光程激光干涉系统,由于该干涉系统的测量光路和参考光路具有相似的传播路径,光程差仅由被测试样的长度引起,干涉系统具有较强的抵抗环境温度变化和振动等外界干扰的能力.通过平晶反射膜测量试验,对干涉系统的稳定性进行了验证,结果表明在6.5 h内测量数据的标准偏差为4.2 nm.该激光干涉系统可用于材料尺寸变化(如线膨胀系数)的高准确度测量.

关键词：激光干涉仪、测量、线膨胀系数、高稳定性

所属期刊栏目：39

分类号：TB921(计量学)

资助基金：国家"十三五"技术基础科研项目JSJL2016205C003

在线出版日期：2019-11-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：37-39