MEMS惯性传感器现状与发展趋势

摘要：

自上世纪90年代以来,针对MEMS惯性器件的研究越来越多,MEMS惯性传感器开始得到广泛的商业应用.本文对部分MEMS惯性传感器国内外的新近研究成果进行了分类与归纳,分别对MEMS加速度计、MEMS陀螺仪和微惯性测量组合以及惯性微系统进行了研究与分析.对MEMS惯性传感器发展趋势进行了初步推断,认为未来MEMS惯性传感器的发展主要有四个方向:高精度,以满足日益精细化、 智能化的应用需求;微型化,以实现便携、 分布式应用要求;高集成度,以完成多种功能高密度组合;适应性强,以适应复杂应用环境,拓宽应用范围.

关键词：MEMS、惯性、传感器、现状、趋势

所属期刊栏目：39

分类号：TB9(计量学)

在线出版日期：2019-09-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：50-56