用于微球球度测量的双SPM测头对准系统

摘要：

压电微音叉与钨探针结合,构成SPM(扫描探针显微镜)的扫描测头.将双测头对称置于微球的赤道圆截面处,构成微球球度差动测量系统.通过视觉引导系统对双测头进行粗对准,用视频显微镜对微球和测头分别聚焦,拍摄多组照片,然后对对准图像进行小波分析边缘检测及多图像融合处理,再将图像处理结果反馈到系统进行精确对准.在实际实验中,获得了该对准方法下微球赤道圆截面的测量结果,并分析了对准误差对系统测量结果带来的影响.

关键词：扫描测头、差动测量、对准系统、小波分析、图像融合

所属期刊栏目：39

分类号：TB9;TH71;TH89(计量学)

在线出版日期：2019-04-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：20-23