薄膜热电偶热电特性研究

摘要：

薄膜热电偶厚度不超过15μm,能有效地保证不会对附着流的流谱或热流轨迹及壁厚产生扰动,可以显著地提高局部温度测量的精度.本文以镍基高温合金片为基底的薄膜热电偶为对象,简要介绍了薄膜热电偶的制备工艺;描述了薄膜热电偶的引线连接方法、 不同引线方式的考核方法及结果;重点阐述其热电特性以及影响热电特性的关键因素;并对优化工艺条件下的薄膜热电偶的热电特性进行了验证.

关键词：薄膜热电偶、制备、标定、热电特性、工艺优化

所属期刊栏目：37

分类号：TB92(计量学)

在线出版日期：2017-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：145-152