非接触步距规校准装置的研制

摘要：

利用激光干涉仪、 光电瞄准系统、 二级复合定位系统相结合,研制了非接触步距规校准装置,实现了高精度非接触步距规.本文介绍了该仪器的构成、 原理、 特点,并进行了装置的不确定度分析,经分析1m步距规的测量不确定度可以达到0.5μm(k=2).

关键词：步距规校准、非接触测量、不确定度、计量学

所属期刊栏目：37

分类号：TB9(计量学)

在线出版日期：2017-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：61-63