光谱共焦技术在精密几何量计量测试中的应用

摘要：

光谱共焦测量技术由于其具有测量精度高、测量速度快、可以实现非接触测量的独特优势而被广泛应用于工业级测量。介绍了光谱共焦技术的原理，列举了国内外光谱共焦传感器在精密几何量计量测试中的一些典型应用，展望光谱共焦传感器的应用发展前景。

关键词：计量学、光谱共焦、几何量计量测试

分类号：TB92(计量学)

资助基金：浙江省质量技术监督局科研项目20150216

在线出版日期：2015-08-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：4-6