用于二维线纹测量的二维动态光电显微镜

摘要：

对二维线纹标准样板进行溯源测量时，需要对十字刻线进行高分辨力瞄准。利用二维动态光电显微镜，将二维样板十字刻线分别成像在相互垂直的两组狭缝上，狭缝宽度与刻线像的宽度基本一致，方向与刻线像平行，且在像空间上沿宽度方向错开约一个狭缝宽度的距离。当二维线纹样板沿某一方向运动时，对应方向被测刻线的像先后呈现在一组狭缝中，导致通过该组狭缝的光通量依次发生变化，对应的两个光电接收器的电信号存在相位差；信号处理系统根据两路电信号的相位关系，在信号交叉位置发出瞄准脉冲，锁定坐标测量系统，即得到该方向被测刻线的位置；分别对十字交叉刻线的两条刻线进行瞄准，即可得到对应交叉点的坐标。

关键词：二维线纹、动态瞄准、二维动态光电显微镜

分类号：TB92;TH741.7(计量学)

资助基金：国家“十二五”技术基础科研项目J052011A002

在线出版日期：2015-09-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-36