10.11823/j.issn.1674-5795.2015.02.05
用于激光测振的聚焦扫描系统
针对单点式激光测振仪在测量中的缺陷,本文提出了一种聚焦扫描的测量方式。利用三个步进电机实现对聚焦扫描的控制,其中一个电机控制透镜的移动实现变焦,另外两个电机控制平面镜转向实现光斑位置的移动。设计了聚焦扫描算法,通过实验验证了该方法的实用性。
激光测振仪、聚焦扫描、步进电机
TB96;TN249;TH825(计量学)
国家重大科学仪器设备开发专项2014YQ350461
2015-06-02(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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