微流量测量方法及其技术的发展

摘要：

归纳了近五年来基于MEMS技术的微流量传感器结构及性能参数。根据国际上热门的研究方法推断微流量测量技术可能的发展方向与研究趋势，即集成两种或两种以上的测量方法，实现优势互补，提高测量精度或扩大量程比。最后基于现有的技术基础，提出了融合科氏效应与差压效应的微流量测量方法，阐述了传感器的工作原理与理论基础，并对其可行性进行了分析与论证。

关键词：微流量传感器、MEMS、科氏效应、差压效应、数据融合

分类号：TB937;TP212.1(计量学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目61121003；教育部创新团队资助项目 IRT1203；教育部新世纪人才资助项目

在线出版日期：2015-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

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